高純納米三氧化二鋁在結(jié)構(gòu)陶瓷中的重要作用

時(shí)間：2014-05-31作者：宣城晶瑞新材料有限公司瀏覽：195

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  氧化鋁拋光粉（VK-L30F）在藍(lán)寶石襯底拋光中的應(yīng)用 13305631332，qq:524915046 目前, 在藍(lán)寶石的CMP 工藝中, 常用的磨料主要包括金剛石、二氧化硅溶膠、氧化鈰和氧化鋁等磨料。 實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明，a-氧化鋁拋光粉（VK-L30F，0.3um,球型）在藍(lán)寶石拋光過程中的優(yōu)勢(shì)逐漸明顯。 金剛石只用于傳統(tǒng)的機(jī)械拋光，其硬度（莫氏10）比藍(lán)寶石(莫氏9)硬度高，容易產(chǎn)生劃傷，藍(lán)寶