詞條
詞條說明
等離子清洗機去除Wafer晶圓表面光刻膠,等離子清洗機用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應(yīng)系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強電場作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)被抽走。等離子清洗機的去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點,而且等離子清洗機不用酸、堿及有機溶劑等。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等
等離子清洗機設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用
????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中,晶圓表面會涂上光刻膠,然后光刻,顯影,但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介,當(dāng)光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后,需要進(jìn)行下一步的生長或刻蝕的工藝,之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體,同時通入氧氣或其他氣體,等離子體與光刻膠進(jìn)行反應(yīng),形成氣體被真空泵抽走 等離子清
等離子體清洗機應(yīng)用于電子行業(yè)的手機殼印刷、涂覆、點膠等前處理,手機屏幕的表面處理;連接器表面清洗;通用行業(yè)的絲網(wǎng)印刷、轉(zhuǎn)移印刷前處理等。等離子清洗機具有清洗、活化、噴涂、改性等作用等離子清洗機有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機,等離子表面處理機,電漿清洗機,plasma清洗機,等離子去膠機,等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機/等
等離子處理機不但可以進(jìn)行表面清洗,重要的是可以提高表面活性,等離子體與物體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)集團,應(yīng)用范圍很廣,比如提高材料表面粘接能力,提高焊接能力,邦定性,親水性等等很多方面。利用等離子體技術(shù)對這些材料進(jìn)行表面處理,在高速高能等離子體的轟擊下,很大限度地發(fā)揮這些材料的結(jié)構(gòu)表面,在材料表面形成活性層,使橡膠、塑料能夠打印、粘合、涂層等操作。
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
電 話: 0535 -8236617
手 機: 13573547231
微 信: 13573547231
地 址: 山東煙臺招遠(yuǎn)市山東招遠(yuǎn)高新開發(fā)區(qū)招金路518號
郵 編:
網(wǎng) 址: ytjykj.cn.b2b168.com
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
手 機: 13573547231
電 話: 0535 -8236617
地 址: 山東煙臺招遠(yuǎn)市山東招遠(yuǎn)高新開發(fā)區(qū)招金路518號
郵 編:
網(wǎng) 址: ytjykj.cn.b2b168.com
自動碳?xì)湔婵粘暡ㄇ逑丛O(shè)備維修保養(yǎng)
¥35000.00
¥24000.00
¥600000.00
沖壓零件超聲清洗機 全自動配件除油超聲波清洗機設(shè)備
¥100000.00
¥6800.00