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詞條說明
前言:一個工藝技術**的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過程中,全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設計與施工方面做一個簡單描述。一:概念特氣輸送系統(tǒng)是指:將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制,通過管道、**次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設備的用氣點。其基本流程是:氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點二:分類特種氣體根據(jù)氣體
二氧化碳是自然界中的一種物質(zhì),也是一種非常好的制冷物質(zhì),所以在很多的地方,人們通過二氧化碳來實現(xiàn)制冷的目的,今天小編就來為大家介紹下二氧化碳制冷技術的一些原理及比較適合應用的領域供大家參考了解。二氧化碳作為一種自然制冷劑,由于其優(yōu)良的環(huán)保性能和制冷性能,在近20年來得到了高度重視,其研究與開發(fā)**迅速進展。本書介紹了二氧化碳制冷技術的歷史和現(xiàn)狀、二氧化碳的熱物理性質(zhì)、流動換熱特性、二氧化碳與潤滑油
在電子中,高純度運用十分廣泛。在半導體與集成電路制造與生產(chǎn)過程中,需要高純對其進氛保護與清洗,保證半導體與集成電路的質(zhì)量;在半導體電池和電子合金材料等中,高純被用于電子產(chǎn)品的封裝、燒結、退火、還原、儲存等環(huán)節(jié);在大規(guī)模集成電路、彩電顯像管液晶以及半導體原件的處理中,高純被用于十分重要的源;在單晶硅、多晶硅與一些外延產(chǎn)業(yè)中運用高純,不僅能夠提高生產(chǎn)效率,還有效提升了產(chǎn)品質(zhì)量;在電子行業(yè)中的磁材行業(yè)塑
乙炔是需要特殊管控的氣體之一,工業(yè)上是在裝滿石棉等多孔物質(zhì)的鋼瓶中,使多孔物質(zhì)吸收丙酮后將乙炔壓入,以便貯存和運輸。為了與其它氣體區(qū)別,乙炔鋼瓶的顏色一般為乳白色,橡膠氣管一般為黑色,乙炔管道的螺紋一般為左旋螺紋(螺母上有徑向的間斷溝)。乙炔可用以照明、焊接及切斷金屬(氧炔焰),也是制造乙醛、醋酸、苯、合成橡膠、合成纖維等的基本原料。 乙炔燃燒時能產(chǎn)生高溫,氧炔焰的溫度可以達到3200℃左右,用于
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