山東濰坊濰城國產(chǎn)真空泵-單級真空泵廠家維修保養(yǎng)

時間：2021-02-25作者：上海福豫機械設(shè)備有限公司瀏覽：110

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  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

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  山東青島膠州抽氣真空泵-單級真空泵型號廠家供應(yīng) 真空泵氣鎮(zhèn)閥的作用，是在排氣發(fā)生之前向泵的排氣腔充入一定量空氣，以降低排氣壓力中的蒸汽分壓力，當它**泵溫下的飽和蒸汽壓時，即可隨充入氣體排出泵外,而避免凝結(jié)在泵油中。另外，當密閉泵口運轉(zhuǎn)時，已混入油內(nèi)的可凝性氣體的凝結(jié)物或氣相就會溶于油中的物質(zhì)，又會在泵腔內(nèi)從油中逸出，這時如果開氣鎮(zhèn)工作，也可抽除一定量的可凝性物質(zhì)，從而起到一定凈化作用，延長泵油的